(活力中國(guó)調(diào)研行)浙江紹興:AI賦能硅片制造 加速半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)突圍
中新網(wǎng)紹興8月1日電(劉子琳 項(xiàng)菁)“半導(dǎo)體硅片制造裝備搭載了AI視覺系統(tǒng),可依靠成像算法實(shí)時(shí)捕捉晶體生長(zhǎng)狀態(tài)、研判工藝波動(dòng),即時(shí)給出最優(yōu)工藝調(diào)整方案?!?月1日,在位于浙江紹興上虞的浙江晶盛機(jī)電股份有限公司生產(chǎn)車間,一套套半導(dǎo)體硅片制造裝備有序運(yùn)轉(zhuǎn),該公司拋光設(shè)備研究所所長(zhǎng)李陽(yáng)健受訪時(shí)如是說(shuō)。
當(dāng)前,人工智能發(fā)展風(fēng)起云涌,也為新興產(chǎn)業(yè)帶來(lái)了新機(jī)遇。
當(dāng)日,2026年“活力中國(guó)調(diào)研行”采訪團(tuán)走進(jìn)浙江晶盛機(jī)電股份有限公司。該公司創(chuàng)立于2006年,是半導(dǎo)體裝備和半導(dǎo)體化合物襯底材料制造商。

“硅襯底是半導(dǎo)體芯片的基礎(chǔ)材料,硅片平坦度、表面缺陷直接決定光刻良率?!崩铌?yáng)健介紹,拋光屬于化學(xué)機(jī)械復(fù)合加工,壓力、轉(zhuǎn)速、拋光液、磨墊等變量繁多,海量生產(chǎn)數(shù)據(jù)是AI精準(zhǔn)調(diào)控的核心支撐。如今,企業(yè)依托AI全鏈路智能調(diào)控,硅襯底成品品質(zhì)持續(xù)提升,同時(shí)能夠間接幫助下游晶圓廠提高芯片制造良率,縮小國(guó)內(nèi)高端硅片與海外產(chǎn)品的技術(shù)差距。

據(jù)悉,該公司早年主營(yíng)光伏裝備,憑借長(zhǎng)期戰(zhàn)略布局順利完成向高端半導(dǎo)體裝備轉(zhuǎn)型?!澳壳埃景雽?dǎo)體大硅片核心零部件超95%實(shí)現(xiàn)自研國(guó)產(chǎn)化,多款拋光、長(zhǎng)晶設(shè)備性能對(duì)標(biāo)國(guó)際一線?!崩铌?yáng)健說(shuō)。
當(dāng)下AI算力產(chǎn)業(yè)快速興起,AI電力設(shè)備高功耗帶來(lái)的散熱問(wèn)題,成為行業(yè)共同瓶頸。
浙江晶信科技有限公司總經(jīng)理盧嘉彬受訪時(shí)介紹,針對(duì)算力設(shè)備散熱痛點(diǎn),企業(yè)攻關(guān)金剛石高端熱沉材料,憑借其超高導(dǎo)熱物理特性破解高算力芯片散熱難題,相關(guān)散熱材料成本每年可下降30%至50%。同時(shí),該企業(yè)推進(jìn)碳化硅、氮化硅等配套半導(dǎo)體材料研發(fā),全方位提速半導(dǎo)體關(guān)鍵材料國(guó)產(chǎn)替代步伐。(完)
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