8月28日，粵芯半導(dǎo)體技術(shù)股份有限公司(下稱“粵芯半導(dǎo)體”)取得中國證監(jiān)會IPO注冊批文，成為創(chuàng)業(yè)板注冊制下首家獲批的晶圓制造企業(yè)，廣東“等芯”18年的故事，迎來關(guān)鍵一役的“答卷時刻”。

　　就在7個月前，總投資約252億元的粵芯四期項目在廣州黃埔正式動工，樁機轟鳴、吊臂林立，一條月產(chǎn)4萬片、覆蓋65納米至22納米的數(shù)?；旌咸厣に嚠a(chǎn)線正加速生長。

　　從2017年落地時的一片空地，到如今累計出貨超180萬片、帶動近150家上下游企業(yè)集聚。一顆小小晶圓背后，廣州如何構(gòu)建起完整的芯片產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈條？

　　●南方日報記者 劉珊 昌道勵

　　錯位突圍，蹚出特色“芯”路

　　走進粵芯半導(dǎo)體的無塵車間，自動化物料搬運天車在頭頂軌道上穿梭，光刻、刻蝕、擴散、薄膜……一道道工序有條不紊。

　　把時鐘撥回2018年3月，這里還是一片荒蕪空地?！皬拇蛳碌谝桓鶚?，到工廠建成投產(chǎn)，我們只用了18個月，就在一片空地上把工廠從無到有地建了起來。”粵芯半導(dǎo)體總裁陳衛(wèi)說。

　　彼時，國內(nèi)12英寸晶圓產(chǎn)能高度集中于長三角和華北，作為電子信息制造業(yè)第一大省的廣東，卻長期面臨“缺芯”之痛，珠三角的“廣東芯”幾近空白。

　　2017年底，粵芯落戶廣州黃埔，成為廣東自主培育、首家實現(xiàn)量產(chǎn)的12英寸晶圓制造企業(yè)，被譽為“廣州第一芯”。

　　面對業(yè)內(nèi)扎堆布局3nm、5nm先進制程的行業(yè)內(nèi)卷，初生的粵芯沒有選擇硬碰硬，而是選擇了一條被市場逼出來的特色工藝之路。數(shù)字芯片是“大腦”，模擬芯片則是連接物理世界與數(shù)字世界的“神經(jīng)末梢”。每臺電子設(shè)備里，模擬芯片數(shù)量往往是數(shù)字芯片的數(shù)倍乃至十?dāng)?shù)倍，但彼時中國模擬芯片自給率僅約16%，國產(chǎn)替代需求極為迫切。

　　粵芯立足自身優(yōu)勢選擇錯位發(fā)展，深耕55nm—180nm成熟制程，發(fā)力模擬芯片、傳感器、功率半導(dǎo)體等特色領(lǐng)域。從OPPO、vivo等消費電子終端，到華為、中興等通信巨頭，再到廣汽、小鵬、比亞迪等新能源車企，其工藝平臺正成為大灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈不可或缺的制造底座。

　　隨著四期項目加速建設(shè)，粵芯正迎來關(guān)鍵一躍。項目建成后，三座工廠總產(chǎn)能將達12萬片/月，成為華南地區(qū)規(guī)模最大的12英寸晶圓制造集群?！八钠陧椖坎恢皇呛唵螖U充產(chǎn)能，更是企業(yè)向‘以模擬為核心、以數(shù)字升級為蝶變、以光電融合為特色’復(fù)合型技術(shù)平臺轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步。”陳衛(wèi)說。

　　四期項目動工當(dāng)天，粵芯與北京大學(xué)深圳研究生院達成戰(zhàn)略合作。北京大學(xué)信息工程學(xué)院院長楊玉超表示，雙方將圍繞存算一體先進工藝、BCD工藝開展聯(lián)合攻關(guān)，走出一條產(chǎn)學(xué)研深度交叉融合的新路。

　　這座晶圓廠的技術(shù)升維，折射出一個省份的產(chǎn)業(yè)突圍。國家“十五五”規(guī)劃綱要明確提出“做精做細成熟制程、提升先進制程能力”，而廣東的產(chǎn)業(yè)實踐正與之同頻共振。

　　“大灣區(qū)齊全的消費電子、汽車、工業(yè)自動化產(chǎn)業(yè)鏈，驅(qū)動粵芯持續(xù)拓展工藝平臺，而企業(yè)的每一次進階，又反哺產(chǎn)業(yè)生態(tài)升級。”粵芯半導(dǎo)體研發(fā)中心總監(jiān)曾輝在接受采訪時，曾將粵芯與灣區(qū)的耦合歸結(jié)為三層邏輯，市場需求反推研發(fā)方向、產(chǎn)業(yè)場景倒逼平臺拓展、高校資源滋養(yǎng)人才根基。

　　聚鏈成陣，拼出造芯“艦隊”

　　一家晶圓廠的價值，不只在于一座工廠，更在于它“鏈”起的生態(tài)。在粵芯這只“領(lǐng)頭雁”的帶動下，廣州的集成電路產(chǎn)業(yè)并未止步于單點突破，而是順勢張開了一張覆蓋全產(chǎn)業(yè)鏈的生態(tài)網(wǎng)。

　　磁吸效應(yīng)首先在粵芯周邊顯現(xiàn)。受其帶動，近150家半導(dǎo)體上下游企業(yè)陸續(xù)到廣州選址，95家完成簽約落地，新銳光掩模、慧智微、興森快捷等相繼布局。目前廣州開發(fā)區(qū)、黃埔區(qū)已集聚集成電路企業(yè)超150家，2025年實現(xiàn)產(chǎn)值超340億元、同比增長17.1%，一條覆蓋芯片設(shè)計—晶圓制造—封裝測試—設(shè)備材料—終端應(yīng)用的全產(chǎn)業(yè)鏈閉環(huán)已然成形。

　　在硅片、特氣、研磨液等原材料和離子注入、刻蝕、薄膜沉積等核心工序環(huán)節(jié)，粵芯堅持應(yīng)試盡試，大膽引入國產(chǎn)設(shè)備與材料，為供應(yīng)商創(chuàng)造進入專業(yè)市場的機會，也為設(shè)備、材料、設(shè)計、EDA、IP的國產(chǎn)化提供演練場。

　　“芯片制造行業(yè)資金投入高、技術(shù)門檻高、人才要求高，公司能發(fā)展這么快，離不開‘廣東強芯’工程的支持。”陳衛(wèi)說。

　　更為關(guān)鍵的是，在廣州的戰(zhàn)略部署下，以粵芯為起點，廣州正迅速集結(jié)起一支晶圓制造“艦隊”，構(gòu)建起錯位發(fā)展、協(xié)同互補的獨特生態(tài)。

　　除了粵芯主攻數(shù)?；旌吓c硅光，廣州南沙引進了芯粵能，聚焦第三代半導(dǎo)體碳化硅功率器件，項目建設(shè)效率創(chuàng)下國內(nèi)同類項目新高，直指新能源汽車、光伏儲能爆發(fā)的風(fēng)口；位于增城的增芯科技則建成了國內(nèi)首條12英寸智能傳感器產(chǎn)線。

　　這些項目各有側(cè)重、互為支撐，合力覆蓋了汽車電子、工業(yè)控制、AI算力等大灣區(qū)主流應(yīng)用場景，成為全省芯片產(chǎn)能釋放的“壓艙石”。

　　“國內(nèi)消耗了全球超過54%的傳感器芯片，但本土制造占比不足5%，‘卡脖子’問題亟待破解?！痹鲂究萍贾悄軅鞲衅髦行呢撠?zé)人彭坤直言。該企業(yè)推出的“感算一體”單芯片方案，在傳感器端直接完成信號處理與計算，精準(zhǔn)適配了具身智能和AI終端對低延時、高能效的感知需求。

　　廣東芯粵能半導(dǎo)體有限公司董事長肖國偉判斷，隨著新能源汽車全域碳化硅替代、AI算力中心建設(shè)等需求爆發(fā)，未來至少10年，半導(dǎo)體集成電路都是高需求、高增長的環(huán)節(jié)，大灣區(qū)的集成電路產(chǎn)業(yè)必將邁向一個新的梯隊。

　　放眼全省，廣東深入推進“強芯”工程的效果正在顯現(xiàn)。2025年全省集成電路產(chǎn)量達942.4億塊，比2020年增長152%；2026年上半年，集成電路產(chǎn)量增長29.7%，出口2667億元，以61.4%的增速領(lǐng)跑主要品類。

　　廣東省“十五五”規(guī)劃綱要明確提出，做大做強集成電路等新興產(chǎn)業(yè)，鍛造更多萬億元級、千億元級新興產(chǎn)業(yè)集群。

　　集群效應(yīng)的放大，離不開場景反哺與政策護航。廣東依托雄厚的電子信息產(chǎn)業(yè)根基，由終端市場提出需求，反向牽引芯片研發(fā)、工藝迭代。

　　“廣東發(fā)展芯片產(chǎn)業(yè)，最大的優(yōu)勢在于豐富的應(yīng)用場景。這里沉淀了海量政務(wù)、金融、醫(yī)療、商貿(mào)等真實業(yè)務(wù)環(huán)境，正是國產(chǎn)AI芯片調(diào)試適配、方案落地的‘天然試驗場’?！苯萍级麻L兼CEO李瑛說。

　　從“等芯”18年的漫長等待，到一家晶圓廠“鏈”起一個生態(tài)，一顆“粵芯”正在撬動的，是大灣區(qū)集成電路版圖的全新坐標(biāo)。